博鱼工博会：制造业核心“集成电路”中的浦东产品近几年，中国集成电路发展迅速，而浦东新区又是上海集成电路产业最重要的聚集地。时值第二十届中国国际工业博览会在上海国家会展中心举办，我们也来到了展会的“创新科技馆”，探寻浦东集成电路企业。这一次，又会给我们带来怎样的惊喜？

　　声波清洗技术不算新奇，但声波清洗带来的损伤是件棘手问题。盛美半导体作为我国第一批重点支持发展的半导体设备厂商，一直专注于清洗设备的国产化。至今已发展10 余年，成为张江首家由留学人员创办并赴美上市的高端半导体设备制造公司。这些年盛美通过设备的不断改进，实现了TEBO无图形损伤兆声波清洗技术。和其他声波清洗设备比较，盛美半导体的TEBO清洗设备能够很好的清洗深宽比高达60的FinFET和 3D NAND等结构。同时TEBO清洗技术使得兆声波清洗产生的气泡不会爆炸，实现了硅片均匀和无损的兆声波清洗重要突破，大大降低传统兆声波清洗的损坏率。

　　中微此次带来了他们自主研发生产的新一代Prismo A7® MOCVD设备。作为LED芯片制造最关键的设备，如何实现大规模生产是重中之重。该设备可根据用户需求，自行配置1到4个反应腔，每个反应腔均可独立控制，也可多反应腔联动控制。中微将新一代Prismo A7® MOCVD设备的托盘直径扩大到了716mm，可一次放置34片4吋LED基板。再辅以独特的MO双区输入，能完全满足用户需求，提高了生产力博鱼体育app下载。

　　目前，中微的Prismo A7® MOCVD设备在蓝绿光半导体照明国内市场的份额已超70%，打破了国外公司在MOCVD设备市场的长期垄断。值得一提的是，中微半导体设备（上海）有限公司的董事长兼首席执行官尹志尧今年荣获“上海市感动人物特别奖”。作为硅谷成功的华人代表，他在60岁时毅然回国创办中微半导体，如今70多岁依旧奋斗在研发一线。在他的带领和MOCVD团队共同努力下,此次工博会中微也收获了银奖的成绩。国内集成电路如何脚踏实地发展，中微给我们树立了榜样。

　　IC前道投影光刻机是集成电路装备中技术难度最高、价格最昂贵的关键设备，其集精密光学、机械、控制、材料等先进科技和工程技术于一体。而国内企业起步晚、基础弱，先进光刻机设备的核心技术一直被国外半导体设备巨头垄断。

　　此次工博会展出的600系列投影光刻机设备模型，比实物小3-4倍。该设备采用四倍缩小的倍率且大数值孔径和曝光视场的投影物镜投影物镜，高分辨率、高速高精度运动台同步技术，以及精确的调焦调平和对准先进光信号处理等国内高水平技术。可用于8寸线寸线的大规模工业生产。上海微电子装备（集团）股份有限公司已完全拥有600系列IC前道光刻机自主知识产权。

　　去年的工博会上，凯世通带着当时最新一代的光伏离子注入机IPV3000参展，将创新银奖收入囊中。今年凯世通带来了istellar-500低能大束流半导体离子注入机。凯世通被称“国产离子注入机的圆梦者”，就是因为其在离子注入机上的成绩：曾研发出中国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备，结束了我国薄膜太阳能制造设备全部依赖巨额进口的历史。

　　前不久万业企业收购凯世通，计划转型集成电路。这是继浦科投资后又一新资金的投入。凯世通将充分发挥资本平台优势，拓展集成电路产业领域，加速布局战略新兴产业，实现可持续发展。

　　除了集成电路产业，科大讯飞的“AI+翻译”技术是工博会的一大亮点。智能会议系统、讯飞翻译机2.0、“讯飞听见”APP、“阿尔法蛋”智能机器人……本次工博会的“明星企业”科大讯飞可谓赚足了眼球。其中，讯飞翻译机2.0让科大讯飞上升到了“国家高度”。

　　讯飞翻译机一直采用多项全球领先的人工智能技术，而此次推出的翻译机2.0不仅实现中文和33种语言的即时互译，还支持11种语言的拍照翻译以及四川话、东北线种方言翻译。除此以外，新款翻译机支持对话翻译、拍照翻译、离线翻译等功能，进一步提升了翻译的效率与准确性，使得翻译更加便捷。编者亲身体验了拍照翻译功能，该款翻译机荣获第二十届工博会工业设计金奖。

　　除此之外，宝信的贴标签演示机器人可以将标贴精准牢靠地贴在相应位置，在环保的同时降低劳动强度，提高工作效率；新松的协作机器人XCR20-1100和复合机器人HCR20兼顾安全性、易用性以及节能性。

　　位于浦东的振华重工则展示了国内首台深海J型铺管设备样机以及世界最大2000吨风电安装平台，中国在船舶方面一次次打破了国外垄断，突破自我。

　　市委李强在第二十届上海国际工业博览会的开幕式上指出，上海要着力推进工业化和信息化深度融合，以此推动制造业发展。集成电路装备便是制造的基础与核心。如今我国集成电路制造技术实现跨越发展，整个产业也发生巨大的变化，但被称为“国之重器”的集成电路装备与国外装备相比还有一定距离。浦东作为上海科创中心的主战场，这些行业“领头羊”在发展集成电路装备上一直不断探索。通过工博会这个平台，几家集成电路企业也在相互学习。参展商介绍产品时的神采，显示了他们的自信，也为其他新起的集成电路制造业树立榜样。相信在不久的将来，浦东的集成电路产品能成为我国制造业最有力的“心脏”。返回搜狐，查看更多